微米納米加工技術(shù)全國(guó)重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室，是第一批在教育部部署高校設(shè)立的，為數(shù)不多的依托于民口高校的服務(wù)于國(guó)家特種制造工藝戰(zhàn)略的重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室。實(shí)驗(yàn)室秉承“開放、流動(dòng)、聯(lián)合、競(jìng)爭(zhēng)”的運(yùn)行機(jī)制，加強(qiáng)與國(guó)內(nèi)外優(yōu)勢(shì)單位、專家學(xué)者的學(xué)術(shù)交流和合作，積極推動(dòng)微納加工領(lǐng)域的創(chuàng)新發(fā)展。

圍繞實(shí)驗(yàn)室研究方向，設(shè)立開放基金，主要面向國(guó)內(nèi)高校、科研機(jī)構(gòu)，資助相關(guān)研究團(tuán)隊(duì)在相關(guān)領(lǐng)域開展基礎(chǔ)研究與前沿探索。

一、指南內(nèi)容：

1.指南名稱：

基于MEMS超聲換能器的多波束圖像聲吶

2.研究目標(biāo)：

針對(duì)水下低照度環(huán)境對(duì)高性能、低成本高頻水聲傳感器陣列的需求，開展基于MEMS技術(shù)開展多波束圖像聲吶技術(shù)研究，突破MEMS高頻寬帶換能器水密封裝技術(shù)、高靈敏低噪聲接收技術(shù)、耐水壓技術(shù)等關(guān)鍵技術(shù)，研制新一代低成本高性能二維圖像聲吶樣機(jī)，提升二維圖像聲吶高清成像能力，為MEMS水聲傳感器及陣列在水下軍、民領(lǐng)域推廣應(yīng)用奠定技術(shù)基礎(chǔ)。

3.牽引性指標(biāo)：

(1)陣列水下耐壓：1000m

(2)陣列靈敏度：-225dB(不含前放)

(3)陣列規(guī)模：48×48(三維圖像聲吶應(yīng)用場(chǎng)景)

4.研究?jī)?nèi)容：

(1)MEMS高頻聲波感應(yīng)器件設(shè)計(jì)與制備工藝

(2)耐壓低損耗的封裝材料與技術(shù)研究

(3)高集成度多通道匹配調(diào)理電路設(shè)計(jì)

(4)高魯棒性近場(chǎng)聚焦波束銳化算法

(5)聲吶系統(tǒng)樣機(jī)集成與試驗(yàn)驗(yàn)證

5.考核指標(biāo)：

(1)工作頻帶：750kHz～1.2MHz

(2)接收靈敏度：≥-230dB(不含前放)

(3)帶內(nèi)自噪聲：≤45dB (re 1μPa/√Hz)

(4)通道幅度一致性：≤1dB

(4)接收波束寬度：≤1°

(5)水平探測(cè)扇面：≥120°

(6)探測(cè)距離：≥30m

(7)最大工作水深：≥50m

(8)空氣中重量≤1.5kg

6.成果形式：

(1)報(bào)告類成果：MEMS高頻聲波感應(yīng)器制備及封裝工藝規(guī)范、MEMS水聲傳感器陣列性能測(cè)試報(bào)告、圖像聲吶原理樣機(jī)外場(chǎng)試驗(yàn)報(bào)告

(2)硬件類成果：MEMS高頻圖像聲吶原理樣機(jī)1套

7.發(fā)展必要性分析：

海洋能源、深?？碧健⒑Ｑ竽翀?chǎng)、水下無人等國(guó)家戰(zhàn)略新興產(chǎn)業(yè)對(duì)水聲傳感器的需求呈現(xiàn)爆發(fā)式增長(zhǎng)，這拉動(dòng)了對(duì)于小型化、低成本MEMS水聲傳感器的迫切需求。然而，目前的MEMS水聲傳感器在水下耐壓、靈敏度、自噪聲這些關(guān)鍵指標(biāo)以及大規(guī)模、低成本工業(yè)化生產(chǎn)能力等方面還無法滿足實(shí)際應(yīng)用要求，嚴(yán)重阻礙了該技術(shù)的發(fā)展和市場(chǎng)化進(jìn)程。

國(guó)外在該領(lǐng)域處于領(lǐng)先地位，已經(jīng)基于MEMS技術(shù)研發(fā)了標(biāo)量和矢量水聽器以及MEMS檢波器等，并且在海洋油氣勘探領(lǐng)域得到了廣泛應(yīng)用。然而，在高端水聲裝備方面，國(guó)外公司對(duì)中國(guó)實(shí)行了嚴(yán)格的技術(shù)封鎖。另一方面，在MEMS超聲換能器領(lǐng)域，我國(guó)MEMS傳感器技術(shù)和歐美先進(jìn)水平仍存在較大差距，關(guān)鍵材料和元器件對(duì)外依存度較高，面臨嚴(yán)重的“卡脖子”問題。一旦我們能夠解決以上這些技術(shù)挑戰(zhàn)，MEMS水聲傳感器的新時(shí)代將會(huì)來臨，行業(yè)和市場(chǎng)也將迎來質(zhì)的飛躍。

8.建議經(jīng)費(fèi)指標(biāo)：不超過50萬元

9.研究周期：2年

二、提交要求

將附件申報(bào)材料(申請(qǐng)書、預(yù)算說明書)word版及PDF版(單位蓋章)生成壓縮包發(fā)送至郵箱yaoyuanime@pku.edu.cn。

申請(qǐng)書提交截止時(shí)間：2024

三、聯(lián)系方式

聯(lián)系人：姚遠(yuǎn)

聯(lián)系電話：18611026113

電子郵箱：yaoyuanime@pku.edu.cn

附件：項(xiàng)目申請(qǐng)書及預(yù)算說明書模板鏈接：

https://pan.baidu.com/s/1r8FeVVoHywFBq8FTxxm2Og

提取碼：tmsp

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中企認(rèn)證咨詢網(wǎng)積累了豐富的國(guó)際質(zhì)量認(rèn)證工作經(jīng)驗(yàn)，各項(xiàng)業(yè)務(wù)均成果卓著。始終以服務(wù)國(guó)家經(jīng)濟(jì)社會(huì)發(fā)展和提升人民生活品質(zhì)為己任，依托產(chǎn)品認(rèn)證(包括服務(wù)認(rèn)證、自愿性認(rèn)證)、管理體系認(rèn)證和認(rèn)證培訓(xùn)業(yè)務(wù)，著力開展節(jié)能。在積極促進(jìn)國(guó)際貿(mào)易，調(diào)整經(jīng)濟(jì)結(jié)構(gòu)，保護(hù)消費(fèi)者安全健康，構(gòu)建社會(huì)誠(chéng)信體系，參與"兩型"社會(huì)建設(shè)等方面做出了積極貢獻(xiàn)。同時(shí)，自身獲得了跨越式發(fā)展，已成為業(yè)務(wù)門類全、服務(wù)網(wǎng)絡(luò)廣、工作手段新、技術(shù)力量強(qiáng)、人員素質(zhì)高的一流認(rèn)證機(jī)構(gòu)，可以方便快捷地為世界各地的客戶提供高效、優(yōu)質(zhì)的"一站式"服務(wù)。中企認(rèn)證咨詢網(wǎng)秉承"和諧、進(jìn)取、責(zé)任"的理念，正在朝著建立社會(huì)公信力高，有較強(qiáng)創(chuàng)新能力、市場(chǎng)競(jìng)爭(zhēng)能力和可持續(xù)發(fā)展能力，向業(yè)界有較高知名度的國(guó)際型認(rèn)證機(jī)構(gòu)的目標(biāo)努力前行，優(yōu)質(zhì)的服務(wù)、雄厚的技術(shù)力量、先進(jìn)的管理水平保障了中企認(rèn)證咨詢網(wǎng)業(yè)務(wù)的順利開展，為順利實(shí)現(xiàn)中企認(rèn)證咨詢網(wǎng)的質(zhì)量目標(biāo)、為認(rèn)證機(jī)構(gòu)的品牌提供了有力保障。

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